France – Conception et exécution dans le domaine de la recherche et du développement – DEVELOPPEMENT DE PROCEDE INDUSTRIEL MICROELECTRONIQUE DE FABRICATION EN MASSE DE PUCES A ATOMES FROIDS, INCLUANT LA CONCEPTION DE LA LIGNE DE PRODUCTION AUTOMATISEE ET LE DEVELOPPEMENT DE LOGICIEL(S) ASSOCIE(S) — CNRS Délégation Régionale Ile de France Meudon — Marchévia